[发明专利]一种晶硅光伏太阳能电池电极二次印刷精度视觉检测方法及装置有效
申请号: | 201811181356.4 | 申请日: | 2018-10-11 |
公开(公告)号: | CN109360794B | 公开(公告)日: | 2023-10-20 |
发明(设计)人: | 张宪民;黄炽豪;黄大榕;冼志军 | 申请(专利权)人: | 广东科隆威智能装备股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 李斌 |
地址: | 523405 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种晶硅太阳能光伏电池二次印刷精度视觉检测方法,实现该方法所需要的装置主要包括阵列相机、相机固定架、旋转定位平台、机架、承印台和控制系统,所述控制系统用于控制旋转定位平台、以及控制硅片图像的采集和算法处理工作;本发明方法首先安装好机台并对相机进行标定,然后利用标定好的相机对二次印刷后的硅片进行拍照,接着通过机器机视觉处理算法对拍照图像提取硅片栅线边缘,检测出硅片上栅线的宽度,以及识别并定位硅片中标记点的位置;综合阵列相机中每个相机通过控制系统检测出的栅线宽度以及标记点的位置信息,计算出二次印刷栅线与一次印刷栅线之间的偏移量;本发明的检查方法及系统具有识别速度快,稳定性好等特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶硅光伏 太阳能电池 电极 二次 印刷 精度 视觉 检测 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种晶硅光伏太阳能电池电极二次印刷精度视觉检测方法,其特征在于,包括下述步骤:(1)安装阵列相机并设置参数,同时完成光学标定板对阵列相机的标定;(2)印刷机每印刷一次后,印刷后的硅片经旋转定位平台旋转90度传送至阵列相机下方的拍照工位上,同时触发阵列相机拍照,然后将拍照的硅片图像传输至中央处理器;(3)所述中央处理器通过机器视觉处理算法提取硅片边缘,检测出硅片上栅线的宽度,以及识别并定位两次印刷时硅片中标记点的位置;(4)根据步骤(3)检测出的一次印刷后和二次印刷后的栅线宽度以及标记点的位置信息,计算二次印刷栅线与一次印刷栅线之间的偏移量,即可完成二次印刷精度检测。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造