[发明专利]薄膜的弹性模量测试方法有效
| 申请号： | 201811181947.1 | 申请日： | 2018-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN109520828B | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 闫五柱;岳珠峰;赵万嘉 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G01N3/08 | 分类号： | G01N3/08 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 阚梓瑄 |
| 地址： | 710072 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供一种薄膜的弹性模量测试方法。该薄膜的弹性模量测试方法包括：提供一试验件，所述试验件包括基体和薄膜，所述薄膜覆盖于所述基体的表面；提供多个压头，利用每个所述压头对所述薄膜进行压痕试验，得到所述薄膜对应于每个所述压头的弹性模量，并作为参考弹性模量，其中，每个所述压头上用于与所述薄膜接触的压接面的面积不同；对所述压接面的面积和所述参考弹性模量进行拟合，得到压接面的面积与弹性模量的拟合函数；根据所述拟合函数，确定在压接面的面积为零时的弹性模量，作为目标弹性模量。本公开不仅能够提高所测试的弹性模量的准确性，还能够降低测试成本。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 弹性模量 测试 方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜的弹性模量测试方法，其特征在于，包括：提供一试验件，所述试验件包括基体和薄膜，所述薄膜覆盖于所述基体的表面；提供多个压头，利用每个所述压头对所述薄膜进行压痕试验，得到所述薄膜对应于每个所述压头的弹性模量，并作为参考弹性模量，其中，每个所述压头上用于与所述薄膜接触的压接面的面积不同；对所述压接面的面积和所述参考弹性模量进行拟合，得到压接面的面积与弹性模量的拟合函数；根据所述拟合函数，确定在压接面的面积为零时的弹性模量，作为目标弹性模量。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西北工业大学，未经西北工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811181947.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
