[发明专利]一种曲面棱镜非接触检测方法及装置有效
| 申请号： | 201811183471.5 | 申请日： | 2018-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN109506899B | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 李立波;赵强;孙丽军;丑小全;武俊强;付西红 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 肖建华 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学检测技术领域，针对现有曲面棱镜的接触检测方法容易损伤棱镜光学表面、测试精度低；非接触检测方法测试光路复杂，无法实现定量检测等问题，提供一种曲面棱镜非接触检测方法及装置。其中，检测方法包括以下步骤：1)自准直显微镜与球面干涉仪对准；2)将待测曲面棱镜放置于自准直显微镜和球面干涉仪之间，使待测曲面棱镜的凸面位于球面干涉仪前；3)用球面干涉仪检测待测曲面棱镜凸面，调整待测曲面棱镜，实现待测曲面棱镜的凸面与球面干涉仪光束自准；然后，用自准直显微镜检测待测曲面棱镜凹面，移动自准直显微镜，实现自准直显微镜与待测曲面棱镜的凹面自准；则自准直显微镜的相对移动量即为待测曲面棱镜球心距离。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曲面 棱镜 接触 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种曲面棱镜非接触检测方法，其特征在于，包括以下步骤：1)将自准直显微镜(2)与球面干涉仪(4)镜头相对设置在光学平台上，使自准直显微镜(2)与球面干涉仪(4)对准；2)将待测曲面棱镜(3)放置于自准直显微镜(2)和球面干涉仪(4)之间，使待测曲面棱镜(3)的凸面位于球面干涉仪(4)前；3)使用球面干涉仪(4)检测待测曲面棱镜(3)的凸面，调整待测曲面棱镜(3)，直至球面干涉仪(4)测得的待测曲面棱镜(3)凸面面形屈光度、倾斜均为零；然后，使用自准直显微镜(2)检测待测曲面棱镜(3)的凹面，移动自准直显微镜(2)，直至能够清晰观察到经待测曲面棱镜(3)凹面反射后的自准直显微镜(2)分划板像，且该分划板像位于自准直显微镜(2)视场中心；则自准直显微镜(2)的相对移动量即为待测曲面棱镜(3)球心距离；或者；使用自准直显微镜(2)检测待测曲面棱镜(3)的凹面，调整待测曲面棱镜(3)，直至能够清晰观察到经待测曲面棱镜(3)凹面反射后的自准直显微镜(2)分划板像，且该分划板像位于自准直显微镜(2)视场中心；然后，使用球面干涉仪(4)检测待测曲面棱镜(3)的凸面，移动球面干涉仪(4)，直至球面干涉仪(4)测得的测曲面棱镜(3)凸面面形屈光度、倾斜均为零；则球面干涉仪(4)的相对移动量即为待测曲面棱镜(3)球心距离。
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