[发明专利]膜厚测量装置、基板检查装置、膜厚测量方法以及基板检查方法

摘要

通过使基板以横切线传感器的拍摄区域的方式移动，生成基板上的膜的图像数据，基于生成的图像数据测量膜的各部分的厚度。在测量该膜的厚度时，使用校正信息校正图像数据，使得不包含取决于在与线传感器正交的方向上的位置的变化量。基于第一线状数据与第二线状数据的差分计算校正信息，在基板上的膜上定义沿直径方向延伸的线状区域，将该线状区域配置为平行于线传感器地延伸，拍摄得到该第一线状数据，将该线状区域配置为沿与线传感器正交的方向延伸，拍摄得到该第二线状数据。

主权项

1.一种膜厚测量装置，测量形成于基板上的膜的厚度，其中，具备：保持部，能够将所述基板保持为彼此相差90度的第一朝向以及第二朝向；拍摄部，包含具有沿第一方向排列的多个像素的线传感器；移动部，使所述拍摄部与所述保持部在与所述第一方向正交的第二方向上相对移动；校正信息生成部，在进行校正信息生成动作时，生成用于校正膜的厚度的校正信息；膜厚测量部，在进行膜厚测量动作时，测量所述膜的厚度；以及膜厚校正部，使用所述校正信息校正由所述膜厚测量部测量的厚度，在由所述保持部将所述基板以所述第一朝向保持的状态下，在所述基板上的所述膜上定义与所述第一方向正交的沿直径方向延伸的第一线状区域，在由所述保持部将所述基板以所述第二朝向保持的状态下，所述第一线状区域与所述第二方向正交，所述校正信息生成部包含：第一线状数据生成部，在由所述保持部将所述基板以所述第一朝向保持的状态下，基于在由所述移动部使所述拍摄部与所述保持部进行相对移动时从所述线传感器输出的检测信号，生成与所述膜的所述第一线状区域的厚度对应的第一线状数据；第二线状数据生成部，在由所述保持部将所述基板以所述第二朝向保持的状态下，基于从所述线传感器输出的检测信号，生成与所述膜的所述第一线状区域的厚度对应的第二线状数据；以及校正信息计算部，计算表示所述第一线状数据与所述第二线状数据的差分的信息作为所述校正信息，所述第一线状数据、所述第二线状数据以及所述校正信息分别包含与所述第一线状区域的多个位置对应的多个值，在由所述保持部保持所述基板的状态下，在所述基板上的所述膜上定义与所述第一方向正交的沿直径方向延伸的第二线状区域，并且，定义与所述第二线状区域正交的多个带状区域，所述膜厚测量部包含面状数据生成部，所述面状数据生成部在由所述保持部保持所述基板的状态下，基于在由所述移动部使所述拍摄部与所述保持部进行相对移动时从所述线传感器输出的检测信号，生成与所述基板上的所述膜的厚度对应的面状数据，所述膜厚校正部包含：带状数据生成部，根据由所述面状数据生成部生成的面状数据，生成与所述膜的多个所述带状区域的厚度对应的多个带状数据；以及带状数据校正部，基于所述校正信息校正各带状数据，从而计算膜厚数据，该膜厚数据包含与所述膜的各位置的厚度对应的值。