[发明专利]一种低挤压膜阻尼微谐振器有效
| 申请号： | 201811188178.8 | 申请日： | 2018-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN109245602B | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 李普;方玉明;台永鹏 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H02N2/04 | 分类号： | H02N2/04 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低挤压膜阻尼微谐振器，具有均匀穿孔比0.2的振子、弹性支撑梁、固定支撑和基底。在振子上大量穿通孔，这些通孔均匀对称分布。这些通孔能将挤压膜间隙内的气体释放出来，大大降低了挤压膜内外的压力差，从而大大降低挤压膜阻尼，显著提高了品质因数。同时也减小了振子质量，改变了器件动态性能。在很多场合下，这是不能接受的。本发明提出的穿孔比0.2的振子，挤压膜阻尼降低超过2/3，但其质量仅降低4%。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 挤压 阻尼 谐振器 | ||
【主权项】：
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