[发明专利]球形熔接长周期光纤光栅表面等离子体共振氢敏传感器在审
| 申请号： | 201811193936.5 | 申请日： | 2018-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN108982427A | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 沈常宇;金梦 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01N21/59 | 分类号： | G01N21/59;G01N21/25 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了球形熔断长周期光纤光栅表面等离子体共振氢敏传感器，其特征在于：由待测气体缓冲测量气室、进气口、出气口、气体进出控制阀、温度计、压力表、真空泵、3g重物、球形熔接长周期光纤光栅氢敏传感器、光谱仪、偏振控制器和宽光谱光源组成；其中球形熔接长周期光纤光栅氢敏传感器表面镀有Pd纳米薄膜、Ag纳米薄膜，Pd纳米薄膜采用离子刻蚀法将其刻蚀成条状，长周期光纤光栅由包层中掺有近红外发光量子点的单模光纤采用二氧化碳激光器刻写制成，将长周期光纤光栅正中间切断后用熔接机熔接，中心形成球状熔接，实现球形熔断长周期光纤光栅，使传感器具有较好的灵敏性与分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 长周期光纤光栅 熔接 氢敏传感器 纳米薄膜 表面等离子体共振 熔断 进气口 压力表 二氧化碳激光器 气体进出控制阀 刻写 近红外发光 宽光谱光源 离子刻蚀法 偏振控制器 光谱仪 测量气室 待测气体 单模光纤 温度计 重物 表面镀 出气口 传感器 分辨率 量子点 灵敏性 熔接机 真空泵 包层 缓冲 刻蚀 | ||
【主权项】：
1.球形熔接长周期光纤光栅表面等离子体共振氢敏传感器，其特征在于：由待测气体缓冲测量气室（1）、进气口（2）、出气口（3）、气体进出控制阀（4）、温度计（5）、压力表（6）、真空泵（7）、3g重物（8）、球形熔接长周期光纤光栅氢敏传感器（9）、光谱仪（10）、偏振控制器（11）和宽光谱光源（12）组成；其中球形熔接长周期光纤光栅氢敏传感器（9）表面镀有Pd纳米薄膜（13）、Ag纳米薄膜（14），Pd纳米薄膜（13）采用离子刻蚀法将其刻蚀成条状，长周期光纤光栅（15）由包层中掺有近红外发光量子点（16）的单模光纤采用二氧化碳激光器刻写制成，将长周期光纤光栅（15）正中间切断后用熔接机熔接，中心形成球状熔接（17）；待测气体缓冲测量气室（1）与真空泵（7）通过软管（18）连接，光谱仪（10）连接在待测气体缓冲测量气室（1）上方与3g重物（8）连接的一侧，偏振控制器（11）一侧与宽光谱光源（12）连接，另一侧与待测气体缓冲测量气室（1）中的球形熔接长周期光纤光栅氢敏传感器（9）连接。
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