[发明专利]一种原子力显微镜用亚微米探针的制备方法

摘要

本发明公开了一种原子力显微镜用亚微米探针的制备方法，包括以下步骤：一、通过FIB技术把微悬臂探针的前端切割成平台；二、将用于制备探针的微球颗粒分散在标记有位置的硅片模板上，并根据标记记录下微球颗粒的位置；三、步骤一中制备好的探针替换商用探针；四、使步骤一得到的平台充分粘上环氧胶；五、利用原子力显微镜自带的高分辨光学显微镜和位置控制系统寻找步骤二中记录的微球颗粒位置，精确定位进针，使微球颗粒能够粘接在探针上，得到原子力显微镜用亚微米探针。本发明的方法可在空气中把亚微米颗粒粘附在针尖上，可用于不同环境条件下检测颗粒材料与其他材料之间的相互作用力以及摩擦等机械性能，可用于生命科学和材料科学等领域。

主权项

1.一种原子力显微镜用亚微米探针的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、通过聚焦离子束飞行时间二次离子质谱仪，把微悬臂探针的前端切割成平台；步骤二、将用于制备探针的微球颗粒分散在标记有位置的硅片模板上，并通过原子力显微镜根据标记记录下微球颗粒的位置；步骤三、所述步骤一中制备好的探针替换所述原子力显微镜上的商用探针；步骤四、把带有环氧胶水层的载玻片或硅片固定在所述原子力显微镜的样品台上，利用所述原子力显微镜自带的高分辨光学显微镜和位置控制系统移动到所述环氧胶水层相对较薄的区域，调节所述原子力显微镜接触模式下进针，探针接触到环氧胶表面后，使所述步骤一得到的平台充分粘上环氧胶，然后退针；步骤五、把所述带有环氧胶水层的载玻片或硅片更换为所述步骤二得到的分散有微球颗粒的标记有位置的硅片模板，利用所述原子力显微镜自带的高分辨光学显微镜和位置控制系统寻找所述步骤二中记录的微球颗粒位置，精确定位进针，待微球颗粒接触到探针上的环氧胶表面后，使微球颗粒能够粘接在探针上，得到所述原子力显微镜用亚微米探针；所述原子力显微镜用亚微米探针为尖端带有亚微米颗粒的微悬臂探针。