[发明专利]薄膜电容器有效
| 申请号： | 201811196367.X | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN110767450B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 冯雪;王志建;陈颖 | 申请（专利权）人： | 浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学 |
| 主分类号： | H01G4/12 | 分类号： | H01G4/12;H01G4/33 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 李丽华 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及薄膜电容器，包括电介质薄膜和电极层，所述电介质薄膜包括金属衬底以及依次形成于所述金属衬底上的第一金属层、第二金属层、第二金属氧化物层和第二金属氧化物薄膜，所述电极层形成于所述第二金属氧化物薄膜上；其中，所述第一金属层的材料与所述金属衬底的材料相同；所述第一金属层的表面还设有所述第二金属层中的第二金属与第一金属层中的第一金属结合而形成的合金层。本发明的薄膜电容器中，电介质薄膜为储能陶瓷薄膜，介电常数高，储能性能好。而且，电介质薄膜中的各层之间结合牢固，电介质薄膜的可靠性强。使用该电介质薄膜代替高分子薄膜，可促进薄膜电容器面向小型化、轻薄化、高集成化和多功能化的趋势发展。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 电容器 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜电容器，其特征在于，包括电介质薄膜和电极层，所述电介质薄膜包括金属衬底以及依次形成于所述金属衬底上的第一金属层、第二金属层、第二金属氧化物层和第二金属氧化物薄膜，所述电极层形成于所述第二金属氧化物薄膜上；/n其中，所述第一金属层的材料与所述金属衬底的材料相同；/n所述第一金属层的表面还设有所述第二金属层中的第二金属与第一金属层中的第一金属结合而形成的合金层。/n
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