[发明专利]MEMS样品纵向截面的制备方法及形貌观察方法在审
| 申请号： | 201811196881.3 | 申请日： | 2018-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN111039254A | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 张洵;吴锦波;张薇 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;G01N23/2251 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 邓云鹏 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS样品的制备方法及形貌观察方法，该制备方法包括：获取MEMS样品；冷却所述MEMS样品结构中的聚酰亚胺层；对所述MEMS样品进行裂片处理，形成所述MEMS样品的纵向截面，露出需观察的层次结构；上述MEMS样品纵向截面的制备方法，采用裂片的方式得到MEMS样品纵向截面的成功率高，效率也高。且因为常压下液氮温度一般可以低至‑196℃，因此，对于存在聚酰亚胺层的MEMS样品，经液氮的低温作用后，会使聚酰亚胺层变硬变脆，因此裂片处理MEMS样品，最终得到的纵向截面也不容易粘上聚酰亚胺，因此就可以较为清晰的观察到MEMS样品纵向截面的形貌。 | ||
| 搜索关键词： | mems 样品 纵向 截面 制备 方法 形貌 观察 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡华润上华科技有限公司，未经无锡华润上华科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811196881.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
