[发明专利]一种微机械静电驱动的直线型梳齿结构有效
| 申请号： | 201811196917.8 | 申请日： | 2018-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN109399549B | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 庄海涵;杨静;刘福民;刘国文 | 申请（专利权）人： | 北京航天控制仪器研究所 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 李晶尧 |
| 地址： | 100854 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种微机械静电驱动的直线型梳齿结构，涉及微机械静电驱动技术领域；包括n组相同的直线形梳齿组；n组直线形梳齿组水平均匀分布在外部器件的水平侧壁上；每组直线形梳齿组包括静梳齿和动梳齿；静梳齿和动梳齿为交错配合的E型结构；在外部静电的驱动下；动梳齿沿外部器件的水平侧壁，相对静梳齿进行靠近或远离的直线运动；静梳齿与动梳齿配合时，第一动电极伸入第一定电极和第二定电极之间；第二动电极伸入第二定电极和第三定电极之间；第三动电极设置在第三定电极之间外侧；本发明实现了在于传统技术同样的真空环境和驱动电压下，得到更大的驱动行程，且未增加工艺难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 静电 驱动 线型 梳齿 结构 | ||
【主权项】：
1.一种微机械静电驱动的直线型梳齿结构，其特征在于：包括n组相同的直线形梳齿组；n组直线形梳齿组水平均匀分布在外部器件的水平侧壁上；每组直线形梳齿组包括静梳齿(1)和动梳齿(2)；静梳齿(1)和动梳齿(2)为交错配合的E型结构；在外部静电的驱动下；动梳齿(2)沿外部器件的水平侧壁，相对静梳齿(1)进行靠近或远离的直线运动；n为正整数，且6≤n≤9。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京航天控制仪器研究所，未经北京航天控制仪器研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811196917.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
