[发明专利]一种蒸镀机有效
| 申请号： | 201811196945.X | 申请日： | 2018-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN109321883B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 徐彬;许红玉 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蒸镀机，包括发生源以及位于所述发生源的侧部的挡板，所述挡板的边侧与所述发生源触接；其中，所述挡板向远离所述发生源方向倾斜向下设置。有益效果：发生源喷射的有机材料有部分回落到挡板上后，有机材料在自身重力作用下向远离发生源方向流动到挡板底部，防止材料通过发生源与挡板之间的间隙进入高温区域的同时，防止高温使有机材料再次发生升华导致产品产生不良。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀机 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀机，其特征在于，所述蒸镀机包括：用于喷射有机材料的发生源；以及位于所述发生源的侧部的挡板，所述挡板的边侧与所述发生源触接；其中，所述挡板向远离所述发生源方向倾斜向下设置。
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