[发明专利]一种简易控制激光诱导表面周期性结构排布方向的方法有效
| 申请号： | 201811200029.9 | 申请日： | 2018-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN109014566B | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 姜澜;刘威;胡洁 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人： | 毛燕 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于电子动态调控的简易的控制飞秒激光诱导表面周期性结构排布方向垂直于扫描方向的方法，属于激光应用技术领域。本发明利用飞秒激光器产生飞秒激光单脉冲，然后利用迈克尔逊干涉仪结构与四分之一波片的组合光路将飞秒激光单脉冲转变为偏振方向相互垂直的飞秒激光双脉冲，将此垂直偏振的飞秒激光双脉冲通过光学物镜垂直聚焦到待加工材料表面；控制待加工材料以设定的移动速度与移动路径运动，即可在材料表面加工出与扫描方向相垂直的周期性结构。对比现有技术，本发明无需复杂的旋转控制装置与计算机程序设计，只需要改变扫描方向，即可实现对飞秒激光诱导表面周期性结构排布方向的简易控制，降低了加工成本，提高了加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 简易 控制 激光 诱导 表面 周期性 结构 排布 方向 方法 | ||
【主权项】：
1.一种简易控制激光诱导表面周期性结构排布方向的方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤一：利用飞秒激光器产生飞秒激光单脉冲，然后利用迈克尔逊干涉仪结构与四分之一波片的组合光路将飞秒激光单脉冲转变为偏振方向相互垂直的飞秒激光双脉冲，再利用两块分别置于迈克尔逊干涉仪两臂的连续衰减片将飞秒激光双脉冲的总能量调整到略高于待加工材料的烧蚀阈值，然后调节至合适的飞秒激光加工参数；步骤二：将步骤一中所得到的垂直偏振的飞秒激光双脉冲通过光学物镜垂直聚焦到待加工材料表面；步骤三：控制待加工材料以设定的移动速度与移动路径运动，即可在材料表面加工出与扫描方向相垂直的周期性结构。
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