[发明专利]一种佳拉洁雅装置等离子体通道中的磁场测量系统及方法有效

专利信息
申请号: 201811201799.5 申请日: 2018-10-16
公开(公告)号: CN109541504B 公开(公告)日: 2021-06-25
发明(设计)人: 金显吉;佟为明;李中伟;林景波;李凤阁;刘勇;赵志衡 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学
主分类号: G01R33/06 分类号: G01R33/06
代理公司: 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 代理人: 孙皓晨;侯奇慧
地址: 150001 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 发明公开了一种佳拉洁雅装置等离子体通道中的磁场测量系统及方法,该磁场测量系统包括:磁探针模块,包括多个磁探针,多个磁探针均匀安装于等离子通道中,磁探针的总个数、位置和规格尺寸由等离子通道的规格、等离子体分布状况以及磁场区域的空间位形决定;信号采集模块,包括一调理电路以及一数据采集电路,多个磁探针分别通过调理电路与数据采集电路连接,以采集多个磁探针两端的电压信号;信号处理模块,用于对采集到的多个磁探针两端的电压信号进行处理,以计算出等离子通道中各处的磁感应强度。本发明可实时准确的测量佳拉洁雅装置中的等离子体进入等离子体通道过程中,通道内各点的磁感应强度变化情况,具有测量可靠、实时、准确的优点。
搜索关键词: 一种 佳拉洁雅 装置 等离子体 通道 中的 磁场 测量 系统 方法
【主权项】:
1.一种佳拉洁雅装置等离子体通道中的磁场测量系统,其特征在于,包括:磁探针模块,包括多个磁探针,多个磁探针均匀安装于等离子通道中,磁探针的总个数、位置和规格尺寸由等离子通道的规格、等离子体分布状况以及磁场区域的空间位形决定;信号采集模块,包括一调理电路以及一数据采集电路,多个磁探针分别通过调理电路与数据采集电路连接,以采集多个磁探针两端的电压信号;信号处理模块,用于对采集到的多个磁探针两端的电压信号进行处理,以计算出等离子通道中各处的磁感应强度。
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