[发明专利]一种法诺共振MHM超表面高灵敏度背景折射率传感器

摘要

本发明公开了一种法诺共振MHM超表面高灵敏度背景折射率传感器，包括多个侧面相互连接的单元结构，单元结构包括介质层和分别设于介质层上下表面且关于介质层对称的两个金属层，介质层包括介质膜和金属膜，介质膜偏离中心的位置设有通孔，金属膜填充于通孔内且与两个金属层相接触。本发明提供的法诺共振MHM超表面高灵敏度背景折射率传感器，将金属膜设于介质膜偏离中心的通孔内，使其电偶极子增强，与超表面结构中的磁偶极子相互作用，产生法诺共振，使得传感器应用于具有法诺共振的超表面结构时，对周围背景折射率进行探测时具有较高的灵敏度，且制备工艺简单。

主权项

1.一种法诺共振MHM超表面高灵敏度背景折射率传感器，其特征在于，包括多个侧面相互连接的单元结构，所述单元结构包括介质层和分别设于所述介质层上下表面且关于所述介质层对称的两个金属层，所述介质层包括介质膜和金属膜，所述介质膜偏离中心的位置设有通孔，所述金属膜填充于所述通孔内且与两个所述金属层相接触。