[发明专利]背照式图像传感器及其形成方法

摘要

本发明提供了一种背照式图像传感器，包括：器件层，器件层内形成有多个光电二极管；层间介质层，设置于器件层一侧；金属间介质层，形成于层间介质层背离器件层的一侧；凸透镜阵列，配置于层间介质层与金属间介质层之间，其材料的折射率大于层间介质层和金属间介质层的材料的折射率。该背照式图像传感器能够有效偏折原本可能造成串扰的光线，使其经反射后仍旧回到原先的光电二极管，不仅避免了相邻光电二极管之间的串扰，还提高了光的量子效率。

主权项

1.一种背照式图像传感器，其特征在于，包括：器件层，所述器件层内形成有多个光电二极管；层间介质层，设置于所述器件层一侧；金属间介质层，形成于所述层间介质层背离所述器件层的一侧；凸透镜阵列，配置于所述层间介质层与所述金属间介质层之间，其材料的折射率大于所述层间介质层和所述金属间介质层的材料的折射率。