[发明专利]弧源装置及弧源磁场调节方法有效
| 申请号： | 201811204494.X | 申请日： | 2018-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN109182985B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 周敏;王文宝;朱岩;李军旗 | 申请（专利权）人： | 深圳精匠云创科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 唐芳芳;李艳霞 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华区龙华街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出一种弧源装置，弧源装置包括靶材、横置线圈、多个纵置线圈及一可编程的脉冲电源，横置线圈平行于靶材且位于靶材之后，多个纵置线圈依次设置于横置线圈中，横置线圈、多个纵置线圈与靶材之间的垂直距离相同，脉冲电源与横置线圈、多个纵置线圈分别电性连接，脉冲电源能够实时调节横置线圈及多个纵置线圈的电流大小及方向，使磁场达到所需的磁场强度并不断变化磁场位置。本发明还提出一种弧源磁场调节方法。本发明的弧源装置通过脉冲电源调节电流，耦合出磁拱位置形状不同的磁场，使得靶材消耗均匀，提高了靶材的利用率。由于电流实时变化，使得磁拱顶部位置不断变动，弧斑运动轨迹不会固定汇聚在一处，从而减少了电弧液滴的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 磁场 调节 方法 | ||
【主权项】：
1.一种弧源装置，其特征在于：所述弧源装置包括靶材、横置线圈、多个纵置线圈及一可编程的脉冲电源，所述横置线圈平行于所述靶材且位于所述靶材之后，多个所述纵置线圈依次设置于所述横置线圈中，所述横置线圈、多个所述纵置线圈与所述靶材之间的垂直距离相同，所述脉冲电源与所述横置线圈、多个所述纵置线圈分别电性连接，所述脉冲电源能够实时调节所述横置线圈及多个所述纵置线圈的电流大小及方向，使磁场达到所需的磁场强度并不断变化磁场位置。
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