[发明专利]一种能够快速更换蒸镀源的OLED蒸镀设备

摘要

本发明涉及一种能够快速更换蒸镀源的OLED蒸镀设备，包括沿水平方向前后分别设置的蒸镀工作装置和OLED基板送入装置，所述蒸镀工作装置具有可前后移动的底座，在所述底座上沿水平方向呈一字型依次设有限位密封环、装配环、分隔环，所述装配环由第一装配环、第二装配环、第三装配环并排设置而构成。本发明利用了离心的原理和空心轴电机结构的优点，改变原有的对基本平铺式排布的设计，变为环形筒状的排布，使得单个真空腔室内可以容纳更多的OLED基板，同时通过OLED基板的旋转产生类似于离心的作用，使得真空腔室内的蒸镀材料分子撞击基板的力度显著提升，在生产效率增加的同时还能够提升镀膜的均匀程度，整体结构密闭性好，降低污染的泄露。

主权项

1.一种能够快速更换蒸镀源的OLED蒸镀设备，其特征在于：包括沿水平方向前后分别设置的蒸镀工作装置(1)和OLED基板送入装置(2)，所述蒸镀工作装置(1)具有可前后移动的底座(11)，在所述底座(11)上沿水平方向呈一字型依次设有限位密封环(12)、装配环、分隔环(16)，以所述分隔环(16)的中心轴线为中心、在其前端面上旋转设有若干个等腰梯形间隔块(18)，且所述等腰梯形间隔块(18)较小一头朝向中心轴线方向，在相邻的两个等腰梯形间隔块(18)之间均设有蒸镀源安装滑轨(19)，每个蒸镀源安装滑轨(19)的一端嵌入于相邻的两个等腰梯形间隔块(18)之间，另一端贯穿装配环并与限位密封环(12)固定连接，且相邻的两个蒸镀源安装滑轨(19)之间构成安装腔室，在每个安装腔室内均设有电磁加热装置(111)，在所述蒸镀源安装滑轨(19)上均设有沿轴向延展的滑槽，在滑槽内安装有蒸镀源装置(112)，在所述限位密封环(12)的中心处设有由油缸驱动的密封端盖(113)，所述蒸镀源装置(112)均与密封端盖(113)的内侧表面连接，所述装配环由第一装配环(13)、第二装配环(14)、第三装配环(15)并排设置而构成，且在所述第一装配环(13)、第二装配环(14)、第三装配环(15)的侧壁上均设有抽真空管接头(17)，所述电磁加热装置(111)具有电磁加热棒(1111)，在所述电磁加热棒(1111)的端部设有限位连接法兰头(1112),所述限位连接法兰头(1112)安装在限位密封环(12)的端面上。