[发明专利]基于图片处理的金属靶材表面缺陷的检测设备在审
| 申请号： | 201811205334.7 | 申请日： | 2018-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN111060525A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 王莹 | 申请（专利权）人： | 苏州微微视视觉科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人： | 陆晓鹰 |
| 地址： | 215131 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于图片处理的金属靶材表面缺陷的检测设备，包括：工业相机，用于采集靶材溅射面高清图像；同轴光源，光通过斜射金属靶材，反射出均匀平行光，斜射进入相机的镜片，通过亮场照明，用于呈现靶材溅射面刀纹图像；条形光源，发出平行光，垂直照射至金属靶材上，反射后垂直射入相机的镜片，通过暗场照明，用于呈现靶材溅射面划痕图像。本发明的有益效果为：其检测效率高，检测结果准确。能有效的检测出靶材表面是否存在刀纹和刮痕。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 图片 处理 金属 表面 缺陷 检测 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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