[发明专利]一种应用于单晶炉的主炉室结构

摘要

本发明关于单晶炉辅助设备领域，特别涉及一种应用于单晶炉的主炉室结构。包括主炉室、上法兰、下法兰与隔水组件；主炉室为由内筒体与外筒体组成的双层筒体结构，内筒体侧壁上开有孔，在外筒体侧壁上的相应位置也开有孔并在此处焊接有测温口法兰；上法兰与下法兰分别焊接于主炉室的顶端与底端，内部设有水槽，侧部均开有Rc螺纹孔，Rc螺纹孔与水槽均相互连通；隔水组件焊设于内筒体与外筒体间，包括第一隔水条、导水槽与出水嘴；第一隔水条组成环形水道，导水槽与主炉室轴线平行设置，出水嘴设于导水槽末端。本发明提高了主炉室的密封性能；并提高了冷却效率，从而降低单晶炉的硅棒单次生产时间，降低辅助材料的替换频率。

主权项

1.一种应用于单晶炉的主炉室结构，包括主炉室；其特征在于，还包括上法兰、下法兰与隔水组件；所述主炉室为由内筒体与外筒体组成的双层筒体结构，内筒体中部侧壁圆周上均匀开有若干孔并对应设有30°焊接坡口，在外筒体侧壁上的相应位置开有孔并焊接有测温口法兰，用于安装测温仪从而测量出内筒内的温度；所述上法兰与下法兰分别焊接于主炉室的顶端与底端，内部设有水槽，用于冷却水的流通；侧部均开有Rc螺纹孔，Rc螺纹孔与水槽均相互连通；所述隔水组件焊设于内筒体与外筒体间，包括第一隔水条、第二隔水条、第三隔水条、导水槽与出水嘴；所述第一隔水条为环形的隔水板，有多块，拼接成一自上法兰下端面绕设内筒体外壁的至下法兰上端面的环形连续水道；靠近所述水道前端与末端的上法兰及下法兰的端面上，均开有通孔，与水道连通；所述通孔同时与上法兰及下法兰内的水槽也各自连通；所述第二隔水条为弧形结构的板，设于内筒体外壁顶端，且位于主炉室导水槽右侧；所述第三隔水条，为条形结构的板，有两条且对称设于测温口法兰旁侧，并与水平位置呈30°；所述导水槽平行主炉室轴线方向设置，且顶端抵接上法兰下端面，底端抵接下法兰上端面；出水嘴设于导水槽底端，出水嘴外接下法兰的螺纹孔；所述内筒体内壁上还焊设有热场支撑块，用于支撑坩埚。