[发明专利]电子束熔炼去除硅中挥发性杂质的方法及装置在审
| 申请号： | 201811208774.8 | 申请日： | 2018-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN109292778A | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 孙雨萱;郭校亮;张磊;张思源;肖承祥 | 申请（专利权）人： | 青岛蓝光晶科新材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 巩同海 |
| 地址： | 266237 山东省青岛市即墨市青岛蓝色*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电子束熔炼去除硅中挥发性杂质的方法及装置，属于硅的纯化技术领域。本发明所述的方法在熔炼过程中，控制电子束间断照射硅熔池，并向硅熔池中导入超声波。本发明所述的装置包括超声波发生器，超声波发生器设于水冷底座下方，水冷底座设有超声传动杆安装孔，超声波发生器的超声传动杆穿过超声传动杆安装孔并与水冷坩埚相连。本发明在熔炼过程中将间断照射和超声波相结合，大幅降低了熔炼时间，节省了熔炼能耗并公开了一种结构简单、紧凑且熔炼效率高的熔炼装置。 | ||
| 搜索关键词： | 熔炼 超声波发生器 超声 传动杆安装孔 电子束熔炼 挥发性杂质 水冷底座 去除 熔池 照射 电子束 声波 熔炼装置 水冷坩埚 超声波 传动杆 紧凑 能耗 穿过 | ||
【主权项】：
1.一种电子束熔炼去除硅中挥发性杂质的方法，其特征在于，在熔炼过程中，控制电子束间断照射硅熔池，并向硅熔池中导入超声波。
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