[发明专利]一种生长碳化硅单晶的籽晶片固定装置及其使用方法在审
| 申请号： | 201811209666.2 | 申请日： | 2018-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN109137076A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 廖弘基;张洁;陈华荣;陈泽斌 | 申请（专利权）人： | 福建北电新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/02 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 362211 福建省泉州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种生长碳化硅单晶的籽晶片固定装置及其使用方法，装置包括石墨盖和石墨坩埚；石墨盖下方设置有圆洞；圆洞内设置有环状沟槽；环状沟槽用来固定石墨夹持支架；石墨夹持支架的一端与石墨盖固定连接，另一端用来夹持固定籽晶片；石墨夹持支架采用6组～12组以对称排列成环状的形式设置；籽晶片下部用来生长碳化硅单晶。本发明生长碳化硅单晶的籽晶片固定装置以机械夹持的方式去固定籽晶片的方法来进行晶体生长，确保籽晶片在生长过程中可以自由的膨胀延伸，不会因为与石墨的热膨胀系数不同，以及黏胶厚度不均与气孔的存在的问题而造成生长过程中缺陷的形成。 | ||
| 搜索关键词： | 籽晶片 碳化硅单晶 固定装置 夹持支架 石墨 石墨盖 生长 环状沟槽 生长过程 圆洞 热膨胀系数 对称排列 固定石墨 固定籽晶 厚度不均 夹持固定 晶体生长 石墨坩埚 机械夹 黏胶 膨胀 延伸 自由 | ||
【主权项】：
1.一种生长碳化硅单晶的籽晶片固定装置，其特征在于，所述装置包括石墨盖(13)和石墨坩埚(11)；所述石墨盖(13)下方设置有圆洞；所述圆洞内设置有环状沟槽；所述环状沟槽用来固定石墨夹持支架(31)；所述石墨夹持支架的一端与石墨盖(13)固定连接，另一端用来夹持固定籽晶片(15)；所述石墨夹持支架(31)采用6组～12组以对称排列成环状的形式设置；所述籽晶片(15)下部用来生长碳化硅单晶(16)。
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