[发明专利]三重托叉式的机械手臂结构及其角度监测模块在审
| 申请号： | 201811209877.6 | 申请日： | 2018-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN111061132A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 廖崇文;陈茂全;苏啟郎 | 申请（专利权）人： | 聚昌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/36 | 分类号： | G03F7/36 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张琳 |
| 地址： | 中国台湾新竹县*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种三重托叉式的机械手臂结构，其包括：支撑框架，内侧设有滑轨；升降模块，其具有升降座可上、下滑动的结合于滑轨；旋转模块，其具有旋转杆可水平旋转的设置于升降座上；以及手臂模块，其具有：手臂框架，其固设于旋转杆的顶端；第一牙叉臂；第二牙叉臂；及第三牙叉臂均为板状且彼此上下平行并列可伸缩滑动的结合于手臂框架。借由本发明的实施，可以至少达成改善膜厚不均匀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 重托 机械 手臂 结构 及其 角度 监测 模块 | ||
【主权项】：
暂无信息
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