[发明专利]一种电流标度因数可控的加速度计伺服电路及其制造工艺有效
| 申请号： | 201811210146.3 | 申请日： | 2018-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN109186638B | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 徐鑫;阮晓明;张明 | 申请（专利权）人： | 西安微电子技术研究所 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明一种电流标度因数可控的加速度计伺服电路及其制造工艺，差动电容转换器的信号输入端与加速度计表头中差动电容传感器的信号输出端连接，信号输出端与电流积分器的信号输入端连接，电流积分器的信号输出端与跨导/补偿放大器的信号输入端连接，跨导/补偿放大器的信号输出端与加速度计表头中力矩器的信号输入端连接，加速度计表头中力矩器的信号输出端与V/I转换器的信号输入端连接并与采样电阻的一端连接，V/I转换器的信号输出端输出目标信号，采样电阻的另一端接地。本发明可实现加速度计输出电流标度因数自主控制，采用厚膜混合集成电路工艺制造电路，金属外壳采用平行封焊工艺实现气密性封装，使电路具有更高可靠性，更优散热性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电流 标度 因数 可控 加速度计 伺服 电路 及其 制造 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种电流标度因数可控的加速度计伺服电路，其特征在于，包括差动电容转换器、电流积分器、跨导/补偿放大器、V/I转换器和采样电阻；差动电容转换器的信号输入端与加速度计表头中差动电容传感器的信号输出端连接，信号输出端与电流积分器的信号输入端连接，电流积分器的信号输出端与跨导/补偿放大器的信号输入端连接，跨导/补偿放大器的信号输出端与加速度计表头中力矩器的信号输入端连接，加速度计表头中力矩器的信号输出端与V/I转换器的信号输入端连接，V/I转换器的信号输出端输出目标信号，同时，加速度计表头中力矩器的信号输出端还与采样电阻的一端连接，采样电阻的另一端接地。
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