[发明专利]一种基于MTEG的微型自供能装置及其制备方法在审
| 申请号： | 201811211315.5 | 申请日： | 2018-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN109411594A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 柳长昕;叶文祥;唐硕;黄海国;邓爱明;赵聪;李方明;宫郅良;董阳;张书赫;潘新祥 | 申请（专利权）人： | 大连海事大学 |
| 主分类号： | H01L35/30 | 分类号： | H01L35/30;H01L35/32;H01L35/34 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 李馨 |
| 地址： | 116026 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于MTEG的微型自供能装置及其制备方法，装置包括：硅基、硅基顶部沉积的多晶硅衬底层、沉积在多晶硅衬底层顶部的多个成阵列排布的P型微型热电臂和N型微型热电臂；其特征在于，在由P型微型热电臂和N型微型热电臂构成的热电偶两端分别设有顶部真空腔和底部真空腔，P型微型热电臂的冷端结点和N型微型热电臂的冷端结点与顶部真空腔的内侧壁接触，顶部真空腔上还设有用于散热的保护金属层。本发明设置的两个真空腔可以有效地避免由环境空气和多晶硅衬底层上方造成的热量损失，以最大限度地提高冷热端结点之间的温差；保护金属层可加快冷端结点的散热，本发明具有结构简单，实用性强，有效提高温差发电效率等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 微型热电 真空腔 结点 衬底层 多晶硅 冷端 保护金属层 自供能 散热 沉积 硅基 制备 环境空气 热量损失 温差发电 阵列排布 内侧壁 热电偶 有效地 冷热 温差 | ||
【主权项】：
1.一种基于MTEG的微型自供能装置，包括：硅基(5)、所述硅基(5)顶部沉积的多晶硅衬底层(4)、沉积在所述多晶硅衬底层(4)顶部的多个成阵列排布的P型微型热电臂(3)和N型微型热电臂(8)；其特征在于，在由所述P型微型热电臂(3)和所述N型微型热电臂(8)构成的热电偶两端分别设有顶部真空腔(2)和底部真空腔(9)，所述P型微型热电臂(3)的冷端结点和所述N型微型热电臂(8)的冷端结点与所述顶部真空腔(2)的内侧壁接触，所述顶部真空腔(9)上还设有用于散热的保护金属层(1)。
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