[发明专利]一种湿法转移石墨烯的方法在审
| 申请号： | 201811211931.0 | 申请日： | 2018-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN109052382A | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 冯贺;田陆 | 申请（专利权）人： | 北京镭硼科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B32/194 | 分类号： | C01B32/194 |
| 代理公司： | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 11471 | 代理人： | 张丹 |
| 地址： | 100089 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种湿法转移石墨烯的方法，包括如下步骤：将长在金属箔上的石墨烯表面涂覆一层PMMA，形成金属/石墨烯/PMMA；将石墨烯表面的PMMA加热固化；刻蚀金属基底，将金属/石墨烯/PMMA转移到目标基底上；在转移后的石墨烯/PMMA表面涂覆一层PMMA，加热固化；去除PMMA，得到目标基底/石墨烯。本发明采用在石墨烯转移到目标基底前后旋涂两层PMMA的方法，将PMMA与石墨烯的结合体转移到目标基底后，在PMMA表面旋涂一层PMMA，然后进行加热固化，使得第一层PMMA内部的应力得以释放，实现石墨烯与目标基底的贴合，防止裂纹和褶皱的出现，同时使得石墨烯表面的PMMA去除的更加彻底。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨烯 目标基 加热固化 表面涂覆 湿法 旋涂 去除 金属 褶皱 刻蚀金属 第一层 结合体 金属箔 基底 两层 贴合 释放 | ||
【主权项】：
1.一种湿法转移石墨烯的方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)将长在金属箔上的石墨烯表面涂覆一层PMMA，形成金属/石墨烯/PMMA；(2)将石墨烯表面的PMMA加热固化；(3)刻蚀金属基底，将金属/石墨烯/PMMA转移到目标基底上；(4)在转移后的石墨烯/PMMA表面涂覆一层PMMA，加热固化；(5)去除PMMA，得到目标基底/石墨烯。
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