[发明专利]一种用于产生声流体镊的装置有效
| 申请号： | 201811217163.X | 申请日： | 2018-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN109126918B | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 段学欣;崔魏巍;杨洋;庞慰 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 北京华夏正合知识产权代理事务所(普通合伙) 11017 | 代理人： | 韩登营;曲芳兵 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了用于产生声流体镊的装置，包括：至少一个体声波产生部件，包括由下往上依次设置的底电极、压电层及顶电极；与体声波产生部件的一面接触设置的声波反射部；所述底电极、压电层、顶电极及声波反射部相重叠区域构成体声波产生区域；用于支撑所述体声波产生部件的底衬层；至少一个流道，其流道腔体的部分区域覆盖了至少一个体声波产生区域的声波作用区域；其中，所述声流体镊还包括一钝化层；所述钝化层覆盖设置于所述压电层上的未覆盖设置顶电极的部分。由上，本申请的上述装置产生的声流体镊能够实现对分子、纳米粒子和微米尺度的物体进行精确的操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 产生 流体 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于产生声流体镊的装置，其特征在于，包括：至少一个体声波产生部件，包括由下往上依次设置的底电极、压电层及顶电极；与体声波产生部件的一面接触设置的声波反射部；所述底电极、压电层、顶电极及声波反射部相重叠区域构成体声波产生区域；用于支撑所述体声波产生部件的底衬层；至少一个流道，其流道腔体的部分区域覆盖了至少一个体声波产生区域的声波作用区域；一钝化层，所述钝化层覆盖设置于所述压电层上的未覆盖设置顶电极的部分。
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