[发明专利]一种硅片外圆表面抛光装置及抛光方法

摘要

本发明涉及硅片抛光设备领域，旨在提供一种硅片外圆表面抛光装置及抛光方法。该装置包括抛光装置本体、驱动组件与抛光抛头；所述抛光装置本体包括尺寸相同的圆形的上安装板与圆形的下安装板；驱动组件能实现抛光装置的正向和反向的旋转；抛光抛头包括4个横向抛头、4个上抛抛头以及4个下抛抛头，交错均匀布置于抛光装置本体外缘；上抛抛头和下抛抛头的抛光块上均设有抛光布。本发明利用抛光装置自转产生的离心力使抛光布均匀地作用在硅片外圆表面，同时可以通过改变抛光装置的自转速度改变施加在硅片外圆表面的作用力，有利于抛光工艺的调节，大大提升了硅片外圆表面的抛光效率。结构紧凑，简单实用，能够有效地提高硅片外圆表面的抛光质量。

主权项

1.一种硅片外圆表面抛光装置，其特征在于，包括抛光装置本体、驱动组件与抛光抛头；所述抛光装置本体包括尺寸相同的圆形的上安装板与圆形的下安装板；上安装板与下安装板的外缘通过沿周向均布的6个支撑柱进行连接；上安装板上端面中心通过连接法兰与驱动组件连接，驱动组件采用变频电机控制，能实现抛光装置的正向和反向的旋转；下安装板上端面中心还设有硅片固定组件，用于放置并固定硅片；硅片固定组件内设有真空吸盘，从而对硅片通过真空吸附进行固定；硅片固定组件连接丝杆，并通过伺服电机进行驱动，使得硅片固定组件能在竖直方向上做往复运动；所述抛光抛头包括4个横向抛头、4个上抛抛头以及4个下抛抛头，交错均匀布置于抛光装置本体外缘；所述横向抛头，包括摆杆安装块；其中两个摆杆安装块固设于上安装板外缘，两个摆杆安装块固设于下安装板外缘，摆杆安装块内通过轴销连接一摆杆，摆杆能在相对于竖直方向两侧进行摆动；摆杆的上端与下端分别设有配重块与抛光块；摆杆安装块上下端面上分别设有上限位块与下限位块；所述上抛抛头，包括摆杆安装块；摆杆安装块固设于上安装板外缘，摆杆安装块内通过轴销连接一摆杆，摆杆能在相对于竖直方向两侧进行摆动；摆杆的上端与下端分别设有抛光块与配重块；摆杆安装块上下端面上分别设有下限位块与上限位块；所述下抛抛头，包括摆杆安装块；摆杆安装块固设于下安装板外缘，摆杆安装块内通过轴销连接一摆杆，摆杆能在相对于竖直方向两侧进行摆动；摆杆的上端与下端分别设有配重块与抛光块；摆杆安装块上下端面上分别设有上限位块与下限位块；所述抛光块上均设有抛光布。