[发明专利]一种采用硅铝钙合金精炼及定向凝固制备多晶硅的方法有效
| 申请号： | 201811221446.1 | 申请日： | 2018-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN109319788B | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 罗学涛;张尧昊;黄柳青;赖惠先;李锦堂 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 赖秀华 |
| 地址： | 361000 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明属于多晶硅提纯领域，公开了一种采用硅铝钙合金精炼及定向凝固制备多晶硅的方法，包括：1)将待提纯硅粉放入20～35℃的氢氟酸和过氧化氢的混合液中浸泡1～2h，过滤、水洗、过滤、烘干；2)将步骤1)得到的粗提硅粉与金属铝和金属钙放入感应熔炼炉中，往炉体中通入惰性气体并使炉内温度升至1703～1783℃后保温1～10h，冷却至室温，得到硅铝钙合金；3)将步骤2)得到的硅铝钙合金研磨成粉之后依次采用混合酸Ⅰ和混合酸Ⅱ进行酸洗；4)将酸洗产物进行定向凝固，退火，得到二次精炼后的硅铝钙合金铸锭；5)将二次精炼后的硅铝钙合金铸锭切去头部的20～40％。本发明对于多晶硅中的杂质，特别是磷杂质，具有很好的去除效果，从而得到高纯度多晶硅。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 硅铝钙 合金 精炼 定向 凝固 制备 多晶 方法 | ||
【主权项】：
1.一种采用硅铝钙合金精炼及定向凝固制备多晶硅的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：1)将待提纯硅粉放入20～35℃的氢氟酸和过氧化氢的混合液中浸泡1～2h，过滤、水洗、过滤、烘干，得到粗提硅粉；2)将步骤1)得到的粗提硅粉与金属铝和金属钙放入感应熔炼炉中，往炉体中通入惰性气体并使炉内温度升至1703～1783℃后保温1～10h，冷却至室温，得到一次精炼的硅铝钙合金；3)将步骤2)得到的硅铝钙合金研磨成粉之后依次采用盐酸和乙酸的混合酸Ⅰ以及盐酸和氢氟酸的混合酸Ⅱ进行酸洗；4)将步骤3)得到的酸洗产物进行定向凝固，之后再进行退火处理，得到二次精炼后的硅铝钙合金铸锭；5)将步骤4)得到的二次精炼后的硅铝钙合金铸锭切去头部的20～40％，得到的剩余部分即为多晶硅。
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