[发明专利]测头可贴附的金属微观表面磨蚀性检测设备以及测量方法在审

专利信息
申请号: 201811221807.2 申请日: 2018-10-19
公开(公告)号: CN109238900A 公开(公告)日: 2019-01-18
发明(设计)人: 郭鑫;赵武;樊明浩;陈领;蒋薇;万浩;于淼;张凯;于泽源;杜琳;吴年汉 申请(专利权)人: 四川大学
主分类号: G01N3/56 分类号: G01N3/56
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 代理人: 吕露
地址: 610000 四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种测头可贴附的金属微观表面磨蚀性检测设备以及测量方法,涉及材料磨蚀检测技术领域。该检测设备包括基座、位置调节组件、升降组件以及压头总成。位置调节组件可滑动的设置于基座,且用于调节样品的位置,压头总成固定设置于升降组件,升降组件可滑动的设置于基座,且使压头总成能够与样品配合。压头总成包括总成壳体、压模组件、电磁吸附体以及电子皮肤,电子皮肤与压模组件相贴。压模组件包括N平方个压头模组,压头模组以N×N的矩阵间隔分布,每个压头模组均包括压杆,压杆设置有顶尖,电磁吸附体通电能够使压杆挤压电子皮肤,且挤压力相同。该磨蚀性检测设备精度高,能够实现nm级的精确定位,快速、准确的获得其磨蚀性能。
搜索关键词: 检测设备 压头总成 升降组件 压模组件 磨蚀性 压头模 位置调节组件 电磁吸附 微观表面 皮肤 可滑动 测头 贴附 压杆 测量 矩阵 检测技术领域 金属 材料磨蚀 固定设置 间隔分布 总成壳体 挤压力 使压杆 磨蚀 相贴 挤压 通电 配合
【主权项】:
1.一种测头可贴附的金属微观表面磨蚀性检测设备,其特征在于,包括基座、位置调节组件、升降组件以及压头总成;所述位置调节组件可滑动的设置于所述基座,且用于调节样品的位置,所述压头总成固定设置于所述升降组件,所述升降组件可滑动的设置于所述基座,且使所述压头总成能够与样品配合。
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