[发明专利]化学水浴镀膜装置在审

专利信息
申请号: 201811223993.3 申请日: 2018-10-19
公开(公告)号: CN109023314A 公开(公告)日: 2018-12-18
发明(设计)人: 惠述伟;朱海安;张升飞 申请(专利权)人: 华夏易能(广东)新能源科技有限公司
主分类号: C23C18/12 分类号: C23C18/12
代理公司: 北京尚伦律师事务所 11477 代理人: 毛宏宝
地址: 517000 广东省河源市高新技术产业*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明是关于一种化学水浴镀膜装置,包括:反应槽、馈入管和扰流单元;所述馈入管,位于靠近所述反应槽的槽底的位置,输入端位于反应槽外部,用于将所述反应槽外部的反应液馈入所述反应槽的内部;所述扰流单元,位于所述反应槽内,且位于所述馈入管上方,用于对所述反应槽内的反应液施加扰动力。该技术方案通过扰流单元扰动反应液运动,加快馈入管上方的反应液的流动和扩散,从而能够使馈入管馈入的反应液与反应槽内原有的反应液快速混合,以实现反应槽内的反应液的温度和溶质浓度尽快达到基本均匀一致。
搜索关键词: 反应槽 馈入 扰流 反应槽外部 镀膜装置 化学水 均匀一致 快速混合 扰动力 输入端 原有的 扰动 溶质 施加 扩散 流动
【主权项】:
1.一种化学水浴镀膜装置,其特征在于,包括:反应槽、馈入管和扰流单元;所述馈入管,位于靠近所述反应槽的底部的位置,输入端位于反应槽外部,用于将所述反应槽外部的反应液馈入所述反应槽的内部;所述扰流单元,位于所述反应槽内,且位于所述馈入管上方,用于对所述反应槽内的反应液施加扰动力。
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