[发明专利]用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具及沉积装置

摘要

本发明提供了一种用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具及沉积装置，涉及涂层沉积辅助设备技术领域。该夹具包括传动单元和夹持单元，夹持单元用于装载掺杂源，传动单元与夹持单元连接，且传动单元能够在外界驱动下带动夹持单元沿竖向运动，该夹具可调整掺杂源与热丝之间的距离，实现待掺杂物质掺杂量的灵活调节，从而实现待掺杂物质的梯度掺杂，改善了现有沉积过程中掺杂源与热丝之间的距离无法调节，从而导致待掺杂物掺杂量无法灵活调节的缺陷；该夹具结构简单，操作方便，且不会改变沉积装置原有的结构和部件，为在片材上沉积掺杂涂层提供了工业依据。本发明还提供一种沉积装置，包括炉体和上述夹具，夹具位于炉体内并对掺杂源进行装载。