[发明专利]一种金颗粒增强型石墨烯光探测器及制备方法

摘要

一种金颗粒增强型石墨烯光探测器及制备方法，石墨烯光探测器包括SiO2‑Si衬底，SiO2‑Si衬底表面中部吸附有若干金颗粒，在吸附有金颗粒的衬底的表面部分上覆盖有石墨烯，在石墨烯表面的两端分别设置有金属电极。石墨烯光探测器的制作方法，包括：清洗衬底；制作金颗粒；金颗粒转移；石墨烯转移；光刻并通过氧离子刻蚀实现石墨烯图形化；制作金属电极。本发明的一种金颗粒增强型石墨烯光探测器及制备方法，采用金膜超声的方式制作金颗粒，简化金颗粒制作工艺，降低实验难度和成本；通过石墨烯覆盖金颗粒，制作复合型探测沟道，增强光吸收，提高石墨烯光探测器的探测效率。

主权项

1.一种金颗粒增强型石墨烯光探测器，包括SiO2‑Si衬底(1)，其特征在于，所述SiO2‑Si衬底(1)表面中部吸附有若干金颗粒(2)，在吸附有金颗粒(2)的衬底(1)的表面部分上覆盖有石墨烯(3)，在石墨烯(3)表面的两端分别设置有金属电极(4)。