[发明专利]一种以FTO导电玻璃为电极元件的ZnO纳米簇气敏传感器

摘要

本发明涉及一种以激光刻蚀处理的FTO导电玻璃为电极元件的ZnO纳米簇气敏传感器，属于气体传感器技术领域。本气敏传感器由气敏电极元件和气敏材料两部分构成，其特征是：所述气敏电极元件是通过对FTO导电玻璃进行特定图案和线宽的激光刻蚀处理所得，其中刻蚀图案为叉指状，叉指条纹宽度为300~500μm，叉指条纹间距为20~80μm；所述气体敏感材料为六方纤锌矿结构的ZnO纳米簇阵列，纳米线的直径为70~100 nm，长度为2~3.5μm。本发明所述FTO气敏电极元件具有成本低、稳定性好、易于气敏材料原位生长等优点；所述传感器具有成本低廉、工艺简单、气敏性优，稳定性好等诸多优点，对乙醇、甲醇、硫化氢等气体展现出优异的响应能力，是一种极具发展与应用前景的新型气敏传感器。

主权项

1.一种以光刻处理的FTO导电玻璃为电极元件的ZnO纳米簇气敏传感器，其特征在于：所述气敏传感器是通过在进行特定图案与线宽光刻处理后的FTO导电玻璃电极元件上原位生长ZnO纳米簇阵列获得，其中ZnO纳米簇阵列均匀、有序地生长于FTO气敏电极元件表面，其直径为70~100 nm，长度为2~3.5 μm，晶体结构为六方纤锌矿结构。