[发明专利]钽环滚花表面粗糙度控制方法在审
| 申请号： | 201811226171.0 | 申请日： | 2018-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN109290931A | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;毛杰 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/04 | 分类号： | B24B29/04;B24B49/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 孙辉 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种钽环滚花表面粗糙度控制方法，涉及半导体的技术领域，包括在滚花后的工件表面进行抛光；抛光后检查工件上的花纹平面是否一致；确认抛光完成后，对工件表面进行粗糙度检测，确认工件表面粗糙度的一致性。本发明的目的在于提供一种钽环滚花表面粗糙度控制方法，对环件表面花纹进行抛光处理，使环件表面花纹粗糙度一致，花纹高低平整，从而提高产品在客户端的使用性能。 | ||
| 搜索关键词： | 粗糙度控制 滚花表面 抛光 钽环 表面花纹 工件表面 环件 花纹 工件表面粗糙度 粗糙度检测 检查工件 抛光处理 使用性能 粗糙度 滚花 半导体 平整 客户 | ||
【主权项】：
1.一种钽环滚花表面粗糙度控制方法，其特征在于，包括：在滚花后的工件表面进行抛光；抛光后检查工件上的花纹平面是否一致；确认抛光完成后，对工件表面进行粗糙度检测，确认工件表面粗糙度的一致性。
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