[发明专利]一种平面螺旋线圈的制作方法及结构有效
申请号: | 201811226233.8 | 申请日: | 2018-10-19 |
公开(公告)号: | CN109360729B | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 满方明 | 申请(专利权)人: | 上海安费诺永亿通讯电子有限公司 |
主分类号: | H01F41/04 | 分类号: | H01F41/04;H01F41/10;H01F27/28;H01F27/29;H01F27/32;H01F38/14 |
代理公司: | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人: | 胡晶 |
地址: | 201108 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种平面螺旋线圈的制作方法及结构,具体步骤包括:a.提供一金属板件,在所述金属板件的一侧设置一绝缘层;b.在所述绝缘层上设置一电镀种子层;c.在所述电镀种子层上电镀设置一导电层,作为引线;d.在所述绝缘层两侧电镀若干个具有一定厚度的开口线圈,所述引线的一端设置在所述开口线圈的内层,所述引线的另一端设置在所述开口线圈的外层;e.在所述金属板件的另一侧曝光显影,并在所述开口线圈的正上方刻蚀平面螺旋的底层线圈,所述底层线圈与所述开口线圈电性连接。 | ||
搜索关键词: | 一种 平面 螺旋 线圈 制作方法 结构 | ||
【主权项】:
1.一种平面螺旋线圈的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:a.提供一金属板件,在所述金属板件的一侧设置一绝缘层;b.在所述绝缘层上设置一电镀种子层;c.在所述电镀种子层上电镀设置一导电层,作为引线;d.在所述绝缘层两侧电镀若干个具有一定厚度的开口线圈,所述引线的一端设置在所述开口线圈的内层,所述引线的另一端设置在所述开口线圈的外层;e.在所述金属板件的另一侧曝光显影,并在所述开口线圈的正上方刻蚀平面螺旋的底层线圈,所述底层线圈与所述开口线圈电性连接;上述各步骤顺序可互换。
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