[发明专利]一种工业用在线光学显微成像系统

摘要

本发明公开了一种工业用在线光学显微成像系统，包括计算机、显示器、控制器、成像系统、成像调节模块，成像系统包括光源、聚光镜、载物台、半透半反镜、物镜、反光镜、目镜、相机；成像调节模块包括摆角调节器、Z向位移调节器、X向位移调节器、Y向位移调节器，调节器能使载物台调整角度与位置，调节器与控制器通过线束相连，控制器与计算机相连，计算机与相机相连，相机还连接显示器，光源对待测目标成像后，由相机捕捉图像，控制器将最终的整体成像上传服务器，经网络传输直接用于工业生产与研发检测。本系统通过对待侧目标进行点成像后整合成整体成像，可用于对显微结构的观察研究，可标记，成像质量高、工作可靠稳定，工业使用价值高。

主权项

1.一种工业用在线光学显微成像系统，包括计算机、CRT显示器、控制器、成像系统、成像调节模块，其特征在于，所述成像系统包括光源（1）、聚光镜（2）、载物台（3）、半透半反镜、物镜（5）、反光镜（6）、目镜（9）、CCD相机（8），其中，半透半反镜分为第一半透半反镜（4）和第二半透半反镜（7）；所述成像调节模块包括摆角调节器、Z向位移调节器、X向位移调节器、Y向位移调节器，所述摆角调节器包括第一电机、第一传动箱、旋转轴，第一电机的输出轴与第一传动箱的输入轴相连，第一传动箱的输出轴与旋转轴连接，所述旋转轴与载物台（3）相连接固定，能使载物台（3）绕Y轴摆动；所述Z向位移调节器包括第二电机、第二传动箱、Z向调节轴，第二电机的输出轴与第二传动箱的输入轴相连，第二传动箱的输出轴与Z向调节轴连接，所述Z向调节轴与载物台（3）相连接固定，能使载物台（3）沿Z轴上下调整位移；所述X向位移调节器包括第三电机、第三传动箱、X向调节轴，第三电机的输出轴与第三传动箱的输入轴相连，第三传动箱的输出轴与X向调节轴连接，所述X向调节轴与载物台（3）相连接固定，能使载物台（3）沿X轴左右调整位移；所述Y向位移调节器包括第四电机、第四传动箱、Y向调节轴，第四电机的输出轴与第四传动箱的输入轴相连，第四传动箱的输出轴与Y向调节轴连接，所述Y向调节轴与载物台（3）相连接固定，能使载物台（3）沿Y轴前后调整位移，所述第一电机、第二电机、第三电机、第四电机均与控制器通过线束相连，所述聚光镜（2）、载物台（3）、第一半透半反镜（4）、物镜（5）、反光镜（6）依次分布于光源（1）的原光路上，光源（1）依次透过聚光镜（2）、载物台（3）、第一半透半反镜（4）、物镜（5），射到反光镜（6）上，光源（1）经反光镜（6）反射后再次透过物镜（5），经第一半透半反镜（4）反射后，一方面带有载物台（3）上的待观察物体的光线透过第二半透半反镜（7），成像后由CCD相机（8）捕捉图像，另一方面带有载物台（3）上的待观察物体的光线经第二半透半反镜（7）反射后，透过目镜（9），观察者可通过目镜（9）观察所成图像，所述CCD相机（8）与CRT显示器通过线束相连，所述CCD相机（8）与计算机通过线束相连，所述计算机与控制器通过线束相连。