[发明专利]压力传感器组件有效
| 申请号： | 201811228072.6 | 申请日： | 2018-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN109696268B | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | B.W.圭拉迪 | 申请（专利权）人： | 泰连公司 |
| 主分类号： | G01L9/04 | 分类号： | G01L9/04;G01L9/06 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 葛青 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种压力传感器组件(100)包括传感器管芯(102)和陶瓷基板(104)。所述传感器管芯包括具有隔膜(106)的硅芯片(202)，所述隔膜配置为暴露于工作流体。所述传感器管芯包括一个或多个电感测元件(109)，其安装在所述隔膜上且配置为测量所述工作流体的压力。所述传感器管芯经由焊料层(201)安装至所述陶瓷基板，所述焊料层接合所述陶瓷基板和所述传感器管芯的第二侧(204)。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 组件 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器组件(100)，包括：传感器管芯(102)，具有第一侧(118)和与所述第一侧相对的第二侧(204)，所述传感器管芯包括具有隔膜(106)的硅芯片(202)，所述隔膜配置为暴露于工作流体，所述传感器管芯包括一个或多个电感测元件(109)，所述一个或多个电感测元件安装在所述隔膜上且配置为测量所述工作流体的压力；以及陶瓷基板(104)，所述传感器管芯经由焊料层(201)安装至所述陶瓷基板，所述焊料层接合所述陶瓷基板和所述传感器管芯的第二侧。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于泰连公司，未经泰连公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811228072.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：压感传感器和压感按键开关
- 下一篇：车辆舱内微压动态测试系统
