[发明专利]用于控制极紫外光辐射源中的激发激光的装置在审
| 申请号： | 201811229196.6 | 申请日： | 2018-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN109782546A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 赖韦志;张汉龙;刘柏村;陈立锐;郑博中 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种控制激发激光的装置和方法，该方法包括在液滴检测器处检测在第一位置由第一辐射源照射的一给定标靶液滴散射的辐射的第一信号。控制激发激光的方法还包括在液滴检测器处检测在相距第一位置一固定距离的第二位置由第二辐射源照射的所述给定标靶液滴散射的辐射的第二信号，以及基于第一信号的检测与第二信号的检测之间的时滞来确定给定标靶液滴的速度。所述方法还包括基于所确定的给定标靶液滴的速度，控制触发一激发脉冲以加热给定标靶液滴的触发时间。 | ||
| 搜索关键词： | 标靶 液滴 辐射源照射 液滴检测器 检测 激光 第二信号 第一位置 散射 触发 激发 辐射源 紫外光 第二位置 固定距离 激发脉冲 控制极 辐射 时滞 加热 相距 | ||
【主权项】：
1.一种用于控制一极紫外光辐射源中的一激发激光的装置，该极紫外光辐射源包括配置用以产生标靶液滴的一液滴产生器，并且该激发激光配置用以使用激发脉冲加热所述标靶液滴，该装置包括：一第一辐射源，配置用以在一第一位置照射各所述标靶液滴；一第二辐射源，配置用以在相距该第一位置一固定距离的一第二位置照射各所述标靶液滴；一液滴检测器，配置用以检测在该第一位置由一给定标靶液滴散射的辐射的一第一信号和在该第二位置由该给定标靶液滴散射的辐射的一第二信号；以及一定时模块，配置用以接收该第一信号和该第二信号、基于接收到的所述信号测量该给定标靶液滴的一速度、基于所测量的该速度估计提供一激发脉冲以加热该给定标靶液滴的一触发时间以及向该激发激光提供该触发时间。
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