[发明专利]极紫外光辐射源在审
| 申请号： | 201811229203.2 | 申请日： | 2018-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN109788623A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 赖韦志;张汉龙;杨基;简上杰;刘柏村;陈立锐;郑博中 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种极紫外光源的标靶液滴源包括一液滴产生器，配置用以产生一给定材料的标靶液滴。液滴产生器包括一喷嘴，配置用以在由一腔室封闭的一空间中供应标靶液滴。标靶液滴源还包括一套筒，设置在腔室中且靠近喷嘴。套筒配置用以为标靶液滴在腔室中提供一路径。 | ||
| 搜索关键词： | 标靶 液滴 液滴产生器 喷嘴 液滴源 腔室 极紫外光源 辐射源 极紫外光 套筒配置 配置 封闭 | ||
【主权项】：
1.一种极紫外光辐射源，包括：一极紫外光产生腔室，封闭一空间；一液滴产生器，配置用以产生一给定材料的标靶液滴，该液滴产生器包括一喷嘴，配置用以在由该极紫外光产生腔室封闭的该空间中供应该些标靶液滴；一激发激光，配置用以加热由该喷嘴供应的该些标靶液滴以产生等离子体，该激发激光聚焦在由该极紫外光产生腔室封闭的该空间中的一焦点位置；以及一套筒，设置在该极紫外光产生腔室中且介于该喷嘴与该焦点位置之间，该套筒配置用以为该些标靶液滴在该喷嘴与该焦点位置之间提供一路径。
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