[发明专利]工件处理装置、工件输送系统有效
申请号: | 201811229527.6 | 申请日: | 2014-11-21 |
公开(公告)号: | CN109270906B | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 仓桥孝治;宫本玲;川上敦司;崎元直树 | 申请(专利权)人: | 株式会社大亨 |
主分类号: | G05B19/418 | 分类号: | G05B19/418;H01L21/68 |
代理公司: | 北京华夏博通专利事务所(普通合伙) 11264 | 代理人: | 刘俊 |
地址: | 日本大阪府大阪*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明课题在于现有技术尚未能适当地进行工件缺陷的检测。本发明解决手段是本发明的工件处理装置具备:第一旋转距离资讯储存部101,供储存多个第一旋转距离资讯,所述第一旋转距离资讯为具有使圆形工件旋转时的旋转角度与第一距离资讯形成对应的资讯,而该第一距离资讯为关于从对应旋转角度的工件旋转中心至边缘的距离的资讯;取得部103,使用储存于第一旋转距离资讯储存部101的多个第一旋转距离资讯,取得用以使工件对准位置的资讯、用以特定工件朝向的资讯、及关于工件边缘缺陷部分的资讯;及输出部104,用来输出取得部103所取得的工件对准位置用的资讯、用以特定工件朝向的资讯、及关于缺陷部分的资讯。藉此工件处理装置,可适当进行工件缺陷的检测。 | ||
搜索关键词: | 工件 处理 装置 输送 系统 | ||
【主权项】:
1.一种工件处理装置,其特征在于,具备:第一旋转距离资讯储存部,供储存多个第一旋转距离资讯,所述第一旋转距离资讯为具有使圆形工件旋转时的旋转角度与第一距离资讯形成对应的资讯,而该第一距离资讯则为关于从对应该旋转角度的工件旋转中心至边缘为止的距离资讯;合成装置,将包含于前述多个第一旋转距离资讯的第一距离资讯中对应旋转角度逐次相异90度的多个第一距离资讯合成;合成处理装置,在前述合成装置将第一距离资讯合成并取得的资讯的多个合成距离资讯中,将对应的旋转角度相连续且值的大小变化较小的多个合成距离资讯进行检测,并取得检测所得的多个合成距离资讯中的一个以上对应的合成前多个第一距离资讯及与合成前的一个以上第一距离资讯对应的旋转角度;修正资讯取得装置,使用前述合成处理装置所取得的多个第一距离资讯及旋转角度,取得用以使前述工件的旋转中心与前述工件的中心对准的修正资讯;以及修正资讯输出装置,输出前述修正资讯取得装置所取得的修正资讯。
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