[发明专利]扫描电镜图像的三维重建方法有效
| 申请号： | 201811230563.4 | 申请日： | 2018-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN109448109B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 朱军辉;徐伟;汝长海;孙钰 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | G06T17/00 | 分类号： | G06T17/00;G06V20/69;G06V10/75 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 李艾 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市相城*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫描电镜图像的三维重建方法。本发明包括以下步骤：设定图像数目阈值，对SEM采集的图像首帧选取模板区域；以预定义步长移动样平台，获取实时图像，采用首帧的模板区域进行模板匹配；将匹配得到的图像加入匹配图像序列中；对匹配图像序列选取感兴趣区域，采用修正的拉普拉斯计算每个像素点的聚焦测量；采用高斯插值计算每个像素点的最大聚焦测量值，根据最大的聚焦测量值计算相应点的高度，得到三维点云；根据三维点云，插值拟合三维图形，实现三维重建。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描电镜 图像 三维重建 方法 | ||
【主权项】：
1.一种扫描电镜图像的三维重建方法，其特征在于，包括：设定图像数目阈值，对SEM采集的图像首帧选取模板区域；以预定义步长移动样平台，获取实时图像，采用首帧的模板区域进行模板匹配；将匹配得到的图像加入匹配图像序列中；当未达到所述图像数目阈值，重复上述步骤；对匹配图像序列选取感兴趣区域，采用修正的拉普拉斯计算每个像素点的聚焦测量值；采用高斯插值计算每个像素点的最大聚焦测量值，根据最大的聚焦测量值计算相应点的高度，得到三维点云；根据所述三维点云，插值拟合三维图形，实现三维重建。
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