[发明专利]一种新型高效半导体镀铜添加剂及其制备方法有效
| 申请号： | 201811231096.7 | 申请日： | 2018-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN109112586B | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 刘晓霞;陈朝琦 | 申请（专利权）人： | 江苏赛夫特半导体材料检测技术有限公司 |
| 主分类号： | C25D3/38 | 分类号： | C25D3/38;C25D7/12 |
| 代理公司： | 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 31333 | 代理人： | 谭慧 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及电镀领域，更具体地，本发明涉及一种新型高效半导体镀铜添加剂及其制备方法。本发明第一个方面提供一种新型高效半导体镀铜添加剂，包括5～20g/L改性聚醚、1～5g/L有机硫化物、2～10g/L聚乙烯亚胺类化合物以及0.5～5g/L染色剂；其中改性聚醚的制备原料包括环氧乙烷、环氧丙烷以及二元羧酸，而有机硫化物中含有巯基，且聚乙烯亚胺类化合物中含有环状结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 高效 半导体 镀铜 添加剂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种新型高效半导体镀铜添加剂，其特征在于，包括5～20g/L改性聚醚、1～5g/L有机硫化物、2～10g/L聚乙烯亚胺类化合物以及0.5～5g/L染色剂；其中改性聚醚的制备原料包括环氧乙烷、环氧丙烷以及二元羧酸，而有机硫化物中含有巯基，且聚乙烯亚胺类化合物中含有环状结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏赛夫特半导体材料检测技术有限公司，未经江苏赛夫特半导体材料检测技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811231096.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种版辊镀铜液
- 下一篇：一种安全环保型镀铜添加剂及其制备方法
