[发明专利]一种异质结薄膜光伏器件的制备方法有效

专利信息
申请号: 201811232412.2 申请日: 2018-10-22
公开(公告)号: CN109301034B 公开(公告)日: 2020-06-30
发明(设计)人: 仲鹏;陈新鹏;马晓华;贾巧英;习鹤 申请(专利权)人: 西安电子科技大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/072;H01L31/0336;B82Y30/00;B82Y40/00
代理公司: 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 代理人: 张捷
地址: 710071*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明涉及一种异质结薄膜光伏器件的制备方法,包括:在FTO基片上制备TiO2籽晶层,形成含TiO2籽晶层的FTO基片;在含TiO2籽晶层的FTO基片上制备Nb掺杂TiO2纳米线薄膜,形成Nb掺杂TiO2纳米线基片;在Nb掺杂TiO2纳米线基片上沉积Cu2O,形成沉积有Cu2O的Nb掺杂TiO2纳米线薄膜;在沉积有Cu2O的Nb掺杂TiO2纳米线薄膜上形成Ag电极。本发明采用水热法制备Nb掺杂TiO2纳米线基片,采用简单、易于实现的电沉积方法合成Cu2O薄膜、制备电极,工艺重复性和稳定性非常好;通过本方法制成的器件在AM1.5G的条件下获得了0.4%的光电转换效率,具有很大的经济和社会效益。
搜索关键词: 一种 异质结 薄膜 器件 制备 方法
【主权项】:
1.一种异质结薄膜光伏器件的制备方法,其特征在于,包括:S1、在FTO基片上制备TiO2籽晶层,形成含TiO2籽晶层的FTO基片;S2、在所述含TiO2籽晶层的FTO基片上制备Nb掺杂TiO2纳米线薄膜,形成Nb掺杂TiO2纳米线基片;S3、在所述Nb掺杂TiO2纳米线基片上沉积Cu2O,形成沉积有Cu2O的Nb掺杂TiO2纳米线薄膜;S4、在所述沉积有Cu2O的Nb掺杂TiO2纳米线薄膜上形成Ag电极。
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