[发明专利]一种异质结薄膜光伏器件的制备方法有效
申请号: | 201811232412.2 | 申请日: | 2018-10-22 |
公开(公告)号: | CN109301034B | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 仲鹏;陈新鹏;马晓华;贾巧英;习鹤 | 申请(专利权)人: | 西安电子科技大学 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/072;H01L31/0336;B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人: | 张捷 |
地址: | 710071*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: |
本发明涉及一种异质结薄膜光伏器件的制备方法,包括:在FTO基片上制备TiO |
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搜索关键词: | 一种 异质结 薄膜 器件 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种异质结薄膜光伏器件的制备方法,其特征在于,包括:S1、在FTO基片上制备TiO2籽晶层,形成含TiO2籽晶层的FTO基片;S2、在所述含TiO2籽晶层的FTO基片上制备Nb掺杂TiO2纳米线薄膜,形成Nb掺杂TiO2纳米线基片;S3、在所述Nb掺杂TiO2纳米线基片上沉积Cu2O,形成沉积有Cu2O的Nb掺杂TiO2纳米线薄膜;S4、在所述沉积有Cu2O的Nb掺杂TiO2纳米线薄膜上形成Ag电极。
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