[发明专利]热膨胀系数的测量装置和方法在审
| 申请号： | 201811234017.8 | 申请日： | 2018-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN109406564A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 刘兵海;华佑南;傅超;寥金枝;李晓旻 | 申请（专利权）人： | 胜科纳米(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | G01N25/16 | 分类号： | G01N25/16 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 朱琳 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种热膨胀系数的测量装置和方法，该装置包括：原位加热台，用于承载并加热样品；工作台，位于原位加热台一侧；微观悬臂，一端设置于所述工作台的顶部，另一端通过纳米探针与样品的表面接触，所述微观悬臂表面涂覆有反射层；激光源向所述微观悬臂投射激光束；激光反射放大模组接收所述微观悬臂上反射的激光束，放大后反射出去；以及信号接收和处理系统，所述光敏二极管阵列用于接收放大后的激光束信号并传递给信号处理系统，所述信号处理系统对激光束信号进行处理，从而获取样品的热膨胀系数。本发明利用激光反射放大原理，将样品热膨胀导致的纳米级的尺寸变化有效放大，从而达到精确测量热膨胀系数的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 热膨胀系数 微观 悬臂 信号处理系统 激光束信号 测量装置 激光反射 原位加热 放大 激光束 工作台 反射 热膨胀 测量热膨胀系数 光敏二极管阵列 尺寸变化 处理系统 放大模组 加热样品 纳米探针 信号接收 悬臂表面 一端设置 有效放大 反射层 激光源 纳米级 投射 涂覆 承载 传递 | ||
【主权项】：
1.一种热膨胀系数的测量装置，其特征在于，包括：原位加热台，用于承载并加热样品；工作台，位于原位加热台一侧；微观悬臂，一端设置于所述工作台的顶部，另一端通过纳米探针与样品的表面接触，并且，所述微观悬臂表面涂覆有反射层；激光源，用于向所述微观悬臂投射激光束；激光反射放大模组，用于接收所述微观悬臂上反射的激光束，放大后反射出去；以及信号接收和处理系统，包括光敏二极管阵列和信号处理系统，所述光敏二极管阵列用于接收放大后的激光束信号并传递给信号处理系统，所述信号处理系统对激光束信号进行处理，从而获取样品的热膨胀系数。
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