[发明专利]一种在弹性衬底上制备微纳结构的方法在审
| 申请号： | 201811235317.8 | 申请日： | 2018-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN109437091A | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 金崇君;邹秋顺;刘文杰 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 | 代理人： | 张玲春 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在弹性衬底上制备微纳结构的方法。首先，在刚性衬底上制备金属层，然后在金属层表面制备相应的金属或介质微纳结构；一方面，通过拉伸的弹性衬底直接从刚性衬底上转移下附有金属或介质微纳结构的金属层，腐蚀整层金属层后，释放弹性衬底预拉伸的应力，通过控制弹性衬底的预定拉伸比，可在弹性衬底上制备不同间隙的二维微纳结构，或可直接在弹性衬底上制备出不同立体的三维微纳结构；另一方面，通过未拉伸的弹性衬底直接从刚性衬底上转移下附有金属或介质微纳结构的金属层，腐蚀金属层后，即可在弹性衬底上制备二维微纳结构。本发明的方案具有动态调控、高效率、高精度、应用范围广等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性衬 微纳结构 制备 金属层 衬底 金属 二维 拉伸 金属层表面 应用范围广 腐蚀 动态调控 高效率 拉伸比 预拉伸 三维 释放 | ||
【主权项】：
1.一种在弹性衬底上制备微纳结构的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，在刚性衬底上制备金属层，然后在金属层表面制备相应的金属或介质微纳结构；步骤二，制备出具有纳米级平整度的弹性衬底；步骤三，将弹性衬底施加预拉伸至合适应力，与步骤一形成的结构紧密贴合，利用金属层与刚性衬底粘附力低的特点，将金属或介质微纳结构以及金属层从刚性衬底上转移至弹性衬底；步骤四，腐蚀金属层后，缓慢释放弹性衬底上预拉伸的应力，而应力释放后，弹性衬底收缩，可使分离的纳米结构间隙减小，制备出不同间隙的二维纳米结构；或使微米尺寸的结构因受力而隆起，形成三维立体结构。
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