[发明专利]一种湿法制绒花篮压杆在审
| 申请号： | 201811236456.2 | 申请日： | 2018-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN109524335A | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 羡辰;徐晨杰;梁小静 | 申请（专利权）人： | 上海神舟新能源发展有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18;C30B33/10 |
| 代理公司： | 上海航天局专利中心 31107 | 代理人： | 许丽 |
| 地址： | 201112 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种湿法制绒花篮压杆，主体为长条形状圆柱体，在所述圆柱体的两侧分别设有卡槽，所述卡槽通过旋转方式让压杆固定于花篮两侧；所述主体表面一体成型有一排卡齿，所述卡齿的间距与所载花篮卡槽相匹配。本发明提供的湿法制绒花篮压杆，采用卡齿以分割片子，其采用的形状在起到分割作用的同时，有效降低硅片与卡齿的接触面积，改善此区域的绒面不良；此外，卡齿的弧形状态有利于引导反应过程中所产生气泡的分流，使之不会集中于一处，降低影响程度，最终达到降低叠片和改善绒面不良的双重效果。 | ||
| 搜索关键词： | 卡齿 花篮 湿法制绒 卡槽 压杆 绒面 长条形状 弧形状态 双重效果 旋转方式 压杆固定 一体成型 主体表面 分割 硅片 叠片 匹配 分流 | ||
【主权项】：
1.一种湿法制绒花篮压杆，其特征在于，主体为长条形状圆柱体，在所述圆柱体的两侧分别设有卡槽，所述卡槽通过旋转方式让压杆固定于花篮两侧；所述主体表面一体成型有一排卡齿，所述卡齿的间距与所载花篮卡槽相匹配。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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