[发明专利]镍靶坯及靶材的制造方法在审
| 申请号： | 201811239443.0 | 申请日： | 2018-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN111088481A | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;黄东长 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种镍靶坯及靶材的制造方法，镍靶坯的制造方法包括：提供镍锭；将所述镍锭进行第一退火工艺处理，所述第一退火工艺温度为900℃‑950℃；将经过第一退火工艺处理后的所述镍锭进行轧制，形成初级镍靶坯。将所述镍锭进行轧成型前，将所述镍锭进行第一次退火工艺处理的目的是使得降低所述镍锭材料的硬度，以便使得后期的切削加工过程更容易，还使得所述镍锭内部残余的应力得以释放，减少材料的变形与裂纹倾向，并且还起到细化晶粒的作用。控制所述第一退火工艺温度为900℃‑950℃，使得轧制后的镍靶坯内部无缺陷，将所述镍靶坯与背板焊接后所获得的所述镍靶材亦无缺陷，减少了由于述镍靶坯不符合需求而造成的靶材报废的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 镍靶坯 制造 方法 | ||
【主权项】：
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