[发明专利]曝边机及基板曝边方法在审
| 申请号： | 201811240142.X | 申请日： | 2018-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN109375472A | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 王威 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种曝边机及基板曝边方法。该曝边机包括机台、设于所述机台上的多个拍摄装置以及与所述机台和多个拍摄装置均连接的控制单元，当基板进入曝边机的时候，拍摄装置获得基板的位置，并根据基板的位置与预设的曝光位置计算位置补偿值，接着将该位置补偿值反馈给控制单元，控制单元根据位置补偿值控制机台调节基板的位置至预设的曝光位置，因此本发明的曝边机可以提高曝边精度，确保去除基板的四周边缘残留的光刻胶，且不需要作业人员进入曝边机内部人工调节基板的位置，避免基板破片以及损坏曝边机的风险，此外，拍摄装置安装在机台的上方，也不会出现人员触碰导致拍摄装置损坏或偏移。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 拍摄装置 机台 曝光位置 位置补偿 预设 计算位置 人工调节 四周边缘 偏移 光刻胶 触碰 破片 去除 残留 反馈 | ||
【主权项】：
1.一种曝边机，其特征在于，包括：机台(10)、设于所述机台(10)上的多个拍摄装置(20)以及与所述机台(10)和多个拍摄装置(20)均连接的控制单元(30)；所述机台(10)用于放置基板(40)；所述拍摄装置(20)用于获得基板(40)的位置并根据预设的曝光位置计算位置补偿值；所述控制单元(30)用于根据位置补偿值控制机台(10)调节基板(40)的位置至预设的曝光位置。
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