[发明专利]具有悬臂梁结构的高灵敏度微型电场传感器件有效
| 申请号： | 201811243889.0 | 申请日： | 2018-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN109212327B | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 何金良;胡军;薛芬;刘洋;王善祥;韩志飞;庄池杰;曾嵘 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01R29/08 | 分类号： | G01R29/08 |
| 代理公司： | 天津市尚仪知识产权代理事务所(普通合伙) 12217 | 代理人： | 高正方 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种具有悬臂梁结构的高灵敏度微型电场传感器件，包括底座，所述底座上通过固定件安装有半导体薄膜，所述半导体薄膜掺杂内镶嵌所述离子掺杂电阻区，所述压电薄膜沉积在半导体薄膜顶面。其有益效果是：保证了电场传感器具有灵敏度高、动态范围广、频率范围宽的应用目标。半导体薄膜离子掺杂区响应幅值大，器件灵敏度高。采集电力系统的稳定运行特征量外，可监测故障及各种过电压的特征，为电网故障诊断及绝缘配合等研究提供精确的大数据。易于微型化，集成化程度高，成本低，适合批量生产，因而适用于大电网线路及电气设备的密集型布置，以全面采集电气信息，反映电力系统的特征。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 悬臂梁 结构 灵敏度 微型 电场 传感 器件 | ||
【主权项】：
1.一种具有悬臂梁结构的高灵敏度微型电场传感器件，包括底座(6)，所述底座(6)上通过固定件(5)安装有半导体薄膜(3)，其特征在于，所述半导体薄膜(3)上镶嵌有离子掺杂电阻区(1)，所述压电薄膜(2)沉积与所述半导体薄膜(3)顶面。
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