[发明专利]液体循环装置

摘要

在更换液体时抑制向容器内过量补充液体的情况。一种液体循环装置，其特征在于，包括：容器(31)，其贮存药液；蚀刻装置(20)，其利用药液来处理基板(10)；第一泵(41)，其将容器(31)内的药液供给至蚀刻装置(20)；第二泵(42)，其将蚀刻装置(20)用过的药液供给至容器(31)；液位传感器(53)，其检测到容器(31)内的药液的液位变得低于预先规定的高度，弹簧(33)，其通过随着容器(31)内的药液的量减少，使容器(31)上升，从而抑制容器(31)内的药液的液位低于液位传感器(53)。

主权项

1.一种液体循环装置，其特征在于，包括：容器，其贮存液体；处理部，其利用所述液体来处理被处理物；第一泵，其将所述容器内的所述液体供给至所述处理部；第二泵，其将所述处理部用过的所述液体供给至所述容器；液位传感器，其检测到所述容器内的所述液体的液位变得低于预先规定的高度，液位降低抑制部，其通过随着所述容器内的所述液体的量减少，使所述容器上升或者使所述液位传感器下降，从而抑制所述容器内的所述液体的液位低于所述液位传感器。